先导中心接待陕西科技大学学生参观实习
发布时间：2023-07-10
7月6日，陕西半导体先导技术中心接待了陕西科技大学轻工科学与工程学院（柔性电子学院）印刷工程系大三本科生与部分研究生的参观实习，向学生展示了第三代半导体SiC、GaN工艺流程、产品及应用场景。
工艺平台资深技术人员陪同学生参观了第三代半导体氮化镓和碳化硅展厅，详细讲解了半导体配套设备设施、外延到划片工艺设备以及工艺流程，学生们通过近距离接触和结合工程师的讲解，对半导体制造工艺流程及其设备有了深刻认识。
先导中心工艺平台拥有千级净化厂房2000余平方米，及化合物半导体外延材料生长MOCVD设备、薄膜沉积、光刻机、匀胶显影、干法和湿法刻蚀、高温炉管、金属蒸镀、化学清洗、激光剥离、键合、研磨抛光、激光划片、刀片划片、SEM、XRD等芯片工艺设备，具备外延材料和器件中试工艺能力。
同时可提供第三代半导体技术成果转化、产学研联合攻关和人才培养实训服务，包括前沿产品研制、产品工程化验证、小批量生产等中试服务，及工程型人才培养、学生实习实训等技术服务。
先导中心以“树芯计划”为品牌，围绕集成电路设计、半导体封装测试、SiC、GaN第三代半导体器件的设计、工艺制造及应用方向开展实习实训、校企合作、技术论坛、政企培训等各项活动，先导中心将继续充分发挥平台优势，服务于陕西省内各高校、企业，促进陕西半导体产业发展。
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